Liste des paramètres techniques de la machine à revêtement optique multicouche

Modèle

GX-1050A

GX-800A

GX-900A

GX1200A

Taille de la salle de revêtement

1050 * 1250304 en acier inoxydable.

800 * 1000

900 * 1050

1200 * 1250

Taille de la cavité revêtue

Prise en charge du luminaire du sol 1680 mm, adapté au fonctionnement de l'ingénierie humaine.

Prise en charge du luminaire du sol 1468 mm, adapté au fonctionnement de l'ingénierie humaine.

Prise en charge du luminaire du sol 1510 mm, adapté au fonctionnement de l'ingénierie humaine.

1 pièce unique de type arc, dans une plus grande mesure pour répondre aux besoins des clients pour l'uniformité. Rotation de 5-30r / min, changement de vitesse sans étape.

2 ARCH TYPE TROIS PLAQUE DE TROIS, la rotation de la planète, dans une plus grande mesure pour répondre aux besoins des clients sur la production. Rotation de 5-30r / min, changement de vitesse sans étape.

Toolling Fixture

Pour quatre pièces, l'angle du support est réglable dans une plus grande mesure pour répondre à l'uniformité des besoins des clients. Rotation de 5-30r / min, changement de vitesse sans étape.

Type de travail unique, dans une plus large mesure pour répondre aux besoins des clients pour l'uniformité. Rotation de 5-30r / min, changement de vitesse sans étape.

Type de travail unique, dans une plus large mesure pour répondre aux besoins des clients pour l'uniformité. Rotation de 5-30r / min, changement de vitesse sans étape.

système d'aspirateur

Unité: Pompe de diffusion Dip-24000 (LAI BAO), ZJY-300 2x-70 Roots Pompe, pompe mécanique, maintenance de la pompe 2x-8. Tuyau pour 304 en acier inoxydable.

Unité: pompe de diffusion KT-400 (Zhen Hua), ZJY-150 2x-70 Roots Pompe, pompe mécanique, entretien de la pompe 2x-8.

Unité: pompe de diffusion KT-600 (Zhen Hua), ZJY-600 2x-70 Roots Pompe, pompe mécanique, entretien de la pompe 2x-8.

Unité: pompe de diffusion KT-800 (Zhen Hua), ZJY-600 2x-70 Roots Pompe, pompe mécanique, entretien de la pompe 2x-8.

Vacuum ultime: mieux que 4 x PA 10-4.

Configuration de l'équipement anti-turbulence, conception de verrouillage de sécurité, manuel, en option automatique.

système de chauffage

Tuyau de chauffage sur le mode chauffage, contrôle du PID, les 350 c + 1,5 les plus élevés.

Inflation gazeuse

Instrument de commande de débit massique à gaz ou manuel de la soupape de charge de réglage fin.

Bombardement d'ionisation sous vide

DC 3KV, cathode de tige 06KW (pour le revêtement avant l'auto-nettoyage de la pièce).

Source d'évaporation (facultative)

1 pistolet d'électrons Telemark-270 (import), 6 kW, réglable à haute pression 4KV-10kV. Numérisation, balayage, balayage circulaire et balayage en spirale. L'objectif de la tache de faisceau est bon, la précision de positionnement est élevée et la reproductibilité est bonne.

2 pistolet électronique domestique (Zhen Hua): 6 kW, haute pression 4 kV ~ 8 kV réglable, peut choisir librement l'onde triangulaire, l'onde sinusoïdale, le balayage d'onde carré.

3: Crucible à six trous Phi 38 * 20 ou quatre trous Crucible Phi 38 * 20 plus un crucible à arc à l'arc au centre de 87 points (pour une grande quantité de matériaux d'évaporation de point de fusion faible) ou quatre points avec 48 x 18 creuset.

Source ionique (facultative)

1 source d'ion RF (radiofréquence) (import).

2 Source d'ions Holzer 5KVA (Zhen Huachan), utilisée pour l'électroples avant le nettoyage ou le procédure de placage pour aider le placage, est propice à l'amélioration de l'indice de réfraction du film, de la fermeté, d'amélioration de la densité du film, d'adhésion.

Système de contrôle d'épaisseur de film (sélection)

1.MDC-360 Le dispositif de contrôle des cristaux (importé) peut stocker 1 ~ 99 Processus de revêtement automatique de couche, 99 types de données de programme, précision 0,5% + 1 erreur fixe. Dispositif de contrôle cristallin 2TeleMark-880 (importé): peut stocker 1 à 99 couches de processus de revêtement automatique, 99 types de données de programme. Précision 0,5% + 1 erreur fixe.

3.Telemark-820 Photocontroller (IMPORT): Extrémité du spectre complet à l'aide d'une technologie d'analyse de longueur d'onde multiples, par la transmission de la surveillance de la courbe de 370 à 870 mm (ou réflectance) pour déterminer la fin du film. La précision de contrôle est élevée et le contrôle de longueur d'onde unique, le contrôle automatique et le contrôle manuel peuvent être utilisés. Logiciel de calcul du système de membrane Macileod supplémentaire, haut degré d'intégration.

4. Le contrôleur léger de l'Elemark-820 avec contrôleur Telemark-880 peut répondre au film cristallin avec une grande précision et des exigences de répétabilité élevées. Avec l'ordinateur hôte peut réaliser le contrôle automatique.

5 Photocontroller domestique (tel que le type 9704 Soutenir la longueur d'onde monochromator 330 ~ 870 etc.) réglable, la précision peut atteindre 1,5 nm.

Appareil à main

Avec une base magnétique, peut être placé dans la porte arbitraire de la porte de la chambre à vide et de l'armoire de commande.